特許

J-GLOBAL ID：200903076213646771

円板状部材の保持装置

発明者： 辻 治之
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-266684
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093968
出願日： 1999年09月21日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 円板状部材を安定した保持できる円板状部材の保持装置を提供する。【解決手段】 ウェハ30の直径より僅かに大きな開口部16cを有する円弧状のアーム16bの開口部16cを介して供給されるウェハ30を、アーム16bの内周面に沿って位置決めして保持し、この保持された状態のウェハ30の周縁部を、アーム16bに回動自在に設けられたレバー16dにより押圧して脱落を阻止する。

請求項（抜粋）：

円板状部材の直径より僅かに大きな開口部を有する円弧状をなし、前記開口部を介して供給される円板状部材を、その内周面に沿って位置決めして保持するアーム部材と、このアーム部材に回動自在に設けられ、前記アーム部材の内周面に沿って保持された円板状部材の周縁部を押圧して該円板状部材の脱落を阻止する押さえ部材とを具備したことを特徴とする円板状部材の保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 S ,  B25J 15/08 B ,  B25J 15/08 P ,  B65G 49/07 F

Fターム (36件)：

3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007ET02 ,  3C007EV08 ,  3C007EV27 ,  3C007EW00 ,  3C007HS12 ,  3C007NS09 ,  3C007NS11 ,  3C007NS17 ,  3F061AA01 ,  3F061BA03 ,  3F061BB02 ,  3F061BD01 ,  3F061BE13 ,  3F061BE47 ,  3F061BF00 ,  3F061DB00 ,  3F061DB04 ,  3F061DB06 ,  5F031CA02 ,  5F031CA07 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA18 ,  5F031FA21 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA15 ,  5F031GA38 ,  5F031GA47 ,  5F031KA04 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031PA26