特許

J-GLOBAL ID：200903076227466997

アリールヒドラゾ染料を含有する底部反射防止膜

発明者： ディング・シュージ ,  コルソー・アンソニー・ジェイ ,  カンナ・ディネッシュ・エヌ ,  ハンニガン・ティモシー・ティー ,  エバリー・ダニエル・イー ,  ルー・ピン-ハン
出願人/特許権者： クラリアント・インターナショナル・リミテッド
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-516208
公開番号（公開出願番号）：特表2001-501742
出願日： 1997年09月26日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】本発明は、新規の反射防止膜溶液およびそれをフォトリソグラフィーに使用する方法に関する。この反射防止膜溶液は、ポリマー、新規のアリールヒドラゾ染料および溶媒を含有しており、その際新規のアリールヒドラゾ染料は約180nm〜約450nmの放射線を吸収する。

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィーに使用するための反射防止膜組成物において、a)ポリマー、b)以下の構造(式中、A1およびA2は、互いに無関係に、電子求引性基であり、R1は、H、(C1-C10)アルキル、(C1-C10)アルコキシ、ニトロ、ハライド、シアノ、アリール、アルキルアリール、アルケニル、ジシアノビニル、SO2CF3、COOZ、SO3Z、COZ、OZ、NZ2、SZ、SO2Z,NHCOZまたはSO2NZ2であり、ここで、Zは、Hまたは(C1-C10)アルキルであり、Yは、N=N、CW=CW、CW=NまたはN=CWの共役部分であり、ここでWは、H、(C1-C10)アルキルまたは(C1-C10)アルコキシであり、そしてmは、1-5である)を有する染料、およびc)溶媒を含有する上記反射防止膜組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 506 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/16 ,  C09B 29/32 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/004 506 ,  C08K 5/00 ,  C09B 29/32 ,  G03F 7/11 503 ,  H01L 21/30 574 ,  C08L101/00