特許

J-GLOBAL ID：200903076228754503

硬質炭素膜を被覆した機械部品及びその製造方法

発明者： 安達 直祐 ,  大江 高彦
出願人/特許権者： 大阪真空工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317272
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107220
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 この発明は、熱的機械的衝撃を強く受ける機械部品の表面に被覆する硬質炭素膜の耐磨耗性、耐久性、接着性を向上させる技術に関するものである。【解決手段】 硬質炭素膜の表面側の体積比率が30%以下で、硬質炭素膜の下層側すなわち基材(機械部品)側の体積比率が50%以上となるように体積比率に傾斜を持たせて硬質炭素膜内に金属を添加した層(金属傾斜層)を下層に設ける。金属傾斜層の膜厚は0.5〜5μmにする。金属傾斜層以外の硬質炭素膜は、その金属の体積比率を30%以下にし、膜厚を0.5〜5μmにする。なお、硬質炭素膜を金属傾斜層のみで構成してもよい。

請求項（抜粋）：

熱的機械的衝撃を受ける機械部品の表面に硬質炭素膜を被覆した部材において、硬質炭素膜の上層側に占める金属含有率が体積比率で30%以下であり、硬質炭素膜の下層側すなわち基材側に占める金属含有率が体積比率で50%以上となるように、金属含有率に傾斜を持たせて硬質炭素膜内に金属を添加した層(金属傾斜層)を、硬質炭素膜の下層に設けることを特徴とする硬質炭素膜を被覆した機械部品。

IPC (5件)：

C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  F02F 1/00 ,  F04C 2/344 331 ,  F04C 15/00

FI (6件)：

C23C 14/06 F ,  C23C 14/06 L ,  C23C 16/26 ,  F02F 1/00 D ,  F04C 2/344 331 Z ,  F04C 15/00 D

Fターム (33件)：

3G024AA21 ,  3G024FA04 ,  3G024FA06 ,  3G024GA16 ,  3G024HA01 ,  3H040CC14 ,  3H040CC16 ,  3H040DD36 ,  3H044CC12 ,  3H044CC14 ,  3H044DD23 ,  4K029AA02 ,  4K029BA07 ,  4K029BA17 ,  4K029BA34 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BC02 ,  4K029BD03 ,  4K029BD04 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K030AA10 ,  4K030BA06 ,  4K030BA18 ,  4K030BA28 ,  4K030BA61 ,  4K030BB12 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA01 ,  4K030LA23