回転角速度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-300643
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131071
出願日： 1998年10月22日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】量産に向く簡単な構造でありながら、高い駆動電圧下でも安定に動作することのできる小型回転角速度センサを提供する。【解決手段】駆動固定電極と検出固定電極を、駆動電極群と、検出電極群とに分離して配置し、特に前記検出電極群を前記駆動電極群の間に配置したことによって、支持手段を簡単な形状に構成できるばかりでなく、高い駆動電圧下でも振動体の振動を安定に保つことができる。この振動の安定性が、センサ特性を向上させ、且つ(数1)を満たすように検出電極群とそれに噛み合う振動体の櫛歯電極を長くして感度を増すことを可能としている。

請求項（抜粋）：

振動体と、前記振動体を弾性的に支持する支持手段と、前記振動体周上の相対する位置に設けた少なくとも一組みの櫛歯状電極と、前記櫛歯状電極の電極間に設けられ、前記振動体を駆動する駆動電極群と、前記櫛歯状電極の電極間に設けられ、前記駆動された方向とは異なる方向へ生じた前記振動体の変位を検出する検出電極群とを備え、前記検出電極群を前記駆動電極群の間に配置した回転角速度センサ。

IPC (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84

FI (3件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 29/84 Z

Fターム (22件)：

2F105AA02 , 2F105AA08 , 2F105BB04 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD13 , 2F105CD20 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112BA08 , 4M112CA24 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112CA36 , 4M112DA03 , 4M112DA04 , 4M112DA12 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112FA07

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