特許

J-GLOBAL ID：200903076240833052

二つの傾斜角度を提供するための薄膜作動式ミラー・アレイ

発明者： ウム,グレゴリイ
出願人/特許権者： オーラ システムズ,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-531703
公開番号（公開出願番号）：特表平10-510635
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】台座(14)と、上記台座(14)上に装着されている圧電構造体(12)と、圧電材料層(18)の変形に応じてミラー面(32)が傾斜するように、圧電構造体(12)に相互接続している上記ミラー面(32)とを含む作動式ミラー・アレイ用薄膜作動式ミラー。台座(14)は、第一の台座セクション(38)と第二の台座セクション(40)とを含み、圧電構造体(12)は第一の部分(42)および第二の部分(44)に分割されている。上記圧電構造体(12)は、二つの対向する面および二つの金属電極を備えた圧電材料層(18)を含み、上記電極は圧電材料の対向する面上に装着されている。圧電構造体の第一の部分(42)は、圧電構造体(12)の近い方の端部(28)で、第一の台座セクション(38)に装着され、第二の部分(44)は、圧電構造体(12)の遠い方の端部(30)で、第二の台座セクション(40)に装着されている。

請求項（抜粋）：

第一の台座セクションと第二の台座セクションを含む台座と、 上記台座に装着されてい少なくとも一つの圧電構造体と、上記圧電構造体は、二つの対向する面および二つの金属電極を備えた圧電材料層をさらに有し、上記各電極は上記の圧電材料の上記対向する各面上に装着されており、上記電極の間の上記圧電材料に電気信号が加えられると、上記圧電材料層が変形を起こし、さらに上記圧電構造体は第一の部分および第二の部分に分割されており、上記第一の部分は、上記圧電構造体の近い方の端部で、上記第一の台座セクションに装着され、上記第二の部分は、圧電構造体の遠い方の端部で、上記第二の台座セクションに装着されている圧電構造体と、 上記圧電材料層の変形に応じてミラー面が傾斜するように、上記圧電構造体に相互接続しているミラー面とを備える薄膜作動式ミラー。

IPC (4件)：

G02B 5/10 ,  G02B 7/185 ,  G02B 26/08 ,  H01L 41/09

FI (4件)：

G02B 5/10 B ,  G02B 26/08 E ,  G02B 7/18 701 ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-167098
  
• 特開平3-196111
  
• M×Nエレクトロディスプレーシブアクチュエーテッドミラーアレーの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-231916   出願人：大宇電子株式會社