特許
J-GLOBAL ID：200903076243682853
対物レンズ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-067199
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270090
出願日： 2002年03月12日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：
【要約】【課題】 MTFの高い対物レンズの選別、及び対物レンズのMTFが最大となる方向の検査を容易に且つ安価に行うことができる対物レンズ検査装置を提供する。【解決手段】 光ディスクに記録されている情報を光学的に読み出すために光ビームを集光する対物レンズを検査するための対物レンズ検査装置である。光ディスクのトラックのピッチと略等価となるピッチの格子を有する回折格子にて対物レンズを通過した光ビームを受光して反射する光回折部と、光回折部で反射された光からMTFを検出するMTF検出手段とを備える。光ビームの照射時に、対物レンズを光ビームの光軸方向に回転するとともに光回折部を格子に対して略直交する方向に移動させて、MTF検出手段は対物レンズの回転角度に対してMTFを検出する。
請求項（抜粋）：
光ディスクに記録されている情報を光学的に読み出すために光ビームを集光する対物レンズを検査するための対物レンズ検査装置であって、断面略円形状の光ビームを前記対物レンズに照射するための光ビーム照射手段と、前記対物レンズを前記光ビームの光軸方向に回転自在な対物レンズ回転駆動手段と、前記光ディスクのトラックのピッチと略等価となるピッチの格子を有する回折格子と前記回折格子の対物レンズ側に設けられた透明板とを備え、前記回折格子にて前記光ビーム照射手段から照射され前記対物レンズを通過した光ビームを前記透明板を介して受光して反射する光回折部と、前記光回折部を前記格子に対して略直交する方向に移動させる光回折部駆動手段と、前記光回折部で反射された光からMTFを検出するMTF検出手段とを備え、前記光ビーム照射手段による光ビームの照射時に、前記対物レンズ回転駆動手段と前記光回折部駆動手段とが作動し、前記MTF検出手段は前記対物レンズの回転角度に対応して前記MTFを検出することを特徴とする対物レンズ検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
5D119AA38
, 5D119AA40
, 5D119BA01
, 5D119JA42
, 5D119NA05
, 5D119PA10
, 5D789AA38
, 5D789AA40
, 5D789BA01
, 5D789JA42
, 5D789NA05
, 5D789PA10
