特許

J-GLOBAL ID：200903076262983910

表面電荷分布測定装置

発明者： 青島 紳一郎 ,  高橋 宏典 ,  平野 伊助
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (1件)： 松山 圭佑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-084656
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273277
出願日： 1991年03月25日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】 高空間分解能で表面電荷分布を測定する。【構成】 被測定表面16に対してカンチレバー14先端のプローブ18を、原子間力の作用する範囲の外側で、且つクーロン力が作用する範囲以内に配置し、クーロン力によるカンチレバー14のたわみを光検出器等のたわみ検出手段22により検出し、この検出値に基づき、電荷検出手段24によって、表面電化量を測定する。

請求項（抜粋）：

ホルダーに片持ち支持されたカンチレバーと、このカンチレバーの先端に、被測定表面に向けて取付けられたプローブと、このプローブに対して前記被測定表面を、両者間のZ軸方向の距離が原子間力の作用範囲よりも大きく、且つ、クーロン力の作用範囲にあるように移動し、維持すると共に、X・Y軸方向に相対移動させるための移動手段と、前記プローブと前記被測定表面との間のクーロン力による前記カンチレバーのたわみ量を検出するたわみ検出手段と、このたわみ検出手段の検出値に基づき、前記被測定表面の電荷量を検出する電荷検出手段と、を有してなる表面電荷分布測定装置。