特許
J-GLOBAL ID:200903076268182642

フレキシブル押切刃型とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 倉内 義朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-337966
公開番号(公開出願番号):特開平10-175200
出願日: 1996年12月18日
公開日(公表日): 1998年06月30日
要約:
【要約】【課題】 フレキシブルな鋼板上にフォトエッチング法により押切刃型を形成する方法において、線形刃先の交点または折線部で生ずる刃先面(シール紙を鋭利に切断せず押圧力のみを作用させる切れない部分)の大きさを可及的に小さくして、台紙の裏面に穴があかないフレキシブルな押切刃型とその製法を提供する。【解決手段】 刃先線に沿った刃先パターンの光透過部をもつ第1のフォトマスクを用いて第1の光硬化レジスト7Aを形成し、その刃先線の両側に隣接する刃先両側の光透過部をもつ第2のフォトマスクを用いて第2の光硬化レジスト10A,10Aを形成して複合レジストを構成し(f)、まず、略複合レジストの線幅を頂面に残す第1のエッチングを行い(g)、次に刃先両側のレジスト10A,10Aを除去したのち第2のエッチングを行い(h)、これにエッチングのまわり込み現象を利用して第1のレジスト7Aの線幅よりも小さな頂面をもつ押切刃型を得る(i)。
請求項(抜粋):
フレキシブルな鋼板上に、形成すべき押切刃の刃先線に沿って所定線幅の刃先パターンの光透過部をもつ第1のフォトマスクと、その第1のフォトマスクの線幅の両側に所定線幅の互いに平行な刃先両側パターンの光透過部をもつ第2のフォトマスクを使用して、エッチング法により押切刃型を製造する方法であって、上記鋼板上に第1レジスト層を設けたのち上記第1のフォトマスクを用いて上記第1レジストによる上記刃先パターンを形成し、次にその刃先パターンが形成された基板上に第2レジスト層を設け、次に、上記第2のフォトマスクを用いて上記刃先パターンの両側に上記第2レジストによる上記刃先両側パターンを形成し、その後、第1のエッチング処理を行い、次に上記第1レジストによる刃先パターンを残したまま上記第2レジストのみを溶解除去し、次に、第2のエッチング処理を行ったのち上記第1レジストを溶解除去することを特徴とする、フレキシブルな押切刃型の製造方法。
IPC (2件):
B26F 1/44 ,  C23F 1/00
FI (2件):
B26F 1/44 D ,  C23F 1/00 A

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