特許
J-GLOBAL ID：200903076269531012
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-258154
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107582
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】導電性の異物の付着による電極指間のショートを抑制し、SAW装置を簡略な工程で低コストに製造する。【解決手段】36°Yカット-X伝搬のLiTaO3 結晶から成る圧電基板10上にリフトオフ用の感光性レジストを塗布し、フォトリソグラフィー法によりIDT電極のネガパターンを形成し、電極指1a,1bの幅は1.1μm、電極指1a,1b間の間隔は1.1μmとした。次に、真空蒸着法によりネガパターンのある側の圧電基板表面にAlを460nm成膜し、真空を破らずに保護膜13用のSiを35nm成膜した。圧電基板10のネガパターンに相当する感光性レジスト,導電膜,保護膜13をリフトオフし、SAW装置を作製した。SAW装置は(IDT電極の膜厚)=460nmで、(電極指1a,1b間の間隔の1/2)=550nmであった。
請求項（抜粋）：
圧電基板上に、複数の平行な電極指を有する一対の櫛歯状電極の双方の電極指が互いに噛み合うように配置し、かつこれら櫛歯状電極上のみに保護膜を設けて成る弾性表面波装置であって、前記櫛歯状電極の厚さを隣接する電極指間の間隔の1/2未満としたことを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/25 Z
, H03H 9/145 C
