特許

J-GLOBAL ID：200903076271012146

分光測定装置

発明者： 飯田 敦宏 ,  横田 佳澄 ,  池田 英柱 ,  篠山 智生
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-350320
公開番号（公開出願番号）：特開平9-178563
出願日： 1995年12月21日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：

【要約】【課題】 測定する試料のパターンサイズに応じた分光測定を行なう。【解決手段】 試料2とスリット12との間にズームレンズ40を配置し、試料2に対する焦点距離を変えられるようにする。試料2の全体像はCCDカメラ31で撮像され、ディスプレイ33の画面上に表示される。作業者は、マウス34の操作によりその画面内で大きさ及び位置が変化するウインドウを試料画像の所望の領域に指定する。マウス操作に応じてモータ37、38、39は駆動されウインドウにて指定された領域の分光測定が行なえるように、試料台1が移動すると共にズームレンズ40の焦点距離が調整される。

請求項（抜粋）：

試料台上に載置した試料の分光測定を行なう分光測定装置において、a)試料上の領域を照射するための光源手段と、b)該試料から得られた光の範囲を制限するための光域制限手段と、c)該光域制限手段を通過した光を波長分散するための分光手段と、d)該分光手段による分光光を検出するための、複数の微小受光素子から成る光検出手段と、e)前記試料と前記光域制限手段との間に配置された焦点距離が切替え可能な集光手段と、を備えることを特徴とする分光測定装置。