特許

J-GLOBAL ID：200903076277363765

回転板におけるミストの飛散防止方法と装置

発明者： 田中 好一 ,  橋本 浩正 ,  鈴木 文夫
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (1件)： 舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-349962
公開番号（公開出願番号）：特開平5-162075
出願日： 1991年12月09日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 回転板に供給される液状体(スラリー)のミスト化の防止を図る。【構成】 回転板の周縁から飛行する液状体を減速させてミスト化を防止するための減速板1を回転板の周囲に配置する。

請求項（抜粋）：

回転板の表面に供給され、該表面に沿って放射状に進行し、その周縁から飛行する液状体に起因するミストの飛散を防止する方法であって、前記周縁から空中飛行する前記液状体に減速板を接触係合させて減速し、該液状体を重力落下させることを特徴とする回転板におけるミストの飛散防止方法。