特許
J-GLOBAL ID：200903076280360947
基板フォトレジスト処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-252488
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086153
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：
【要約】【目的】 装置構成を変更せずに、簡単な改良で、後続する基板が無い状態の最終基板をも他の基板と同様の温度条件で基板回転式フォトレジスト処理部に搬入することができ、同一の温度条件で均一な処理ができるようにする。【構成】 移動台11に設けた第1および第2のアーム12,13によって保持した基板を、第1の基板加熱部5、第1の基板冷却部6および基板回転式フォトレジスト処理部に搬入・搬出していくに際し、基板加熱部に後続して搬入される基板が無いことを後続基板有無判別手段によって判別したときに、最終基板Wを第1の基板冷却部6から取り出す前に、その最終基板を第1の基板冷却部6から取り出す第1のアーム12を第1の基板加熱部5に挿入して加熱する。
請求項（抜粋）：
基板を収納する基板収納部と、前記基板を加熱処理する基板加熱部と、前記基板を冷却する基板冷却部と、基板回転式フォトレジスト処理部と、前記基板を保持する第1のアームと第2のアームとを移動台に設け、前記各部に対して前記基板を搬入・搬出する基板搬送手段と、を備えた基板フォトレジスト処理装置において、前記基板収納部から前記基板加熱部に後続して搬入される基板が無いことを判別する後続基板有無判別手段と、前記後続基板有無判別手段による後続して搬入される基板が無いことの判別に基づいて、最終基板を前記基板冷却部から取り出す前に前記第1のアームと第2のアームのうちの最終基板を前記基板冷却部から取り出す側となるアームを前記基板加熱部に挿入して加熱するアーム加熱制御手段と、を備えたことを特徴とする基板フォトレジスト処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02F 1/13 101
, H01L 21/68
