電子工業用薬品中の微粒子除去方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178674
公開番号（公開出願番号）：特開2000-005546
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 2000年01月11日
要約：

【要約】【課題】マイクロバブルの生成を抑制することにより効率的に微粒子の除去ができる電子工業用薬品中の微粒子の除去方法を提供する。【解決手段】フィルターによる電子工業用薬品中の微粒子の除去方法において、あらかじめ電子工業用薬品の温度を下げた後にフィルターでろ過することを特徴とする電子工業用薬品中の微粒子除去方法。

請求項（抜粋）：

フィルターによる電子工業用薬品中の微粒子の除去方法において、あらかじめ電子工業用薬品の温度を下げた後にフィルターでろ過することを特徴とする電子工業用薬品中の微粒子除去方法。

IPC (3件)：

B01D 53/22 , B01D 37/00 , B01D 71/32

FI (3件)：

B01D 53/22 , B01D 37/00 , B01D 71/32

Fターム (17件)：

4D006GA07 , 4D006HA95 , 4D006JA25C , 4D006KA02 , 4D006KA15 , 4D006KA64 , 4D006KB30 , 4D006KE13P , 4D006KE16Q , 4D006KE16R , 4D006LA06 , 4D006MC28 , 4D006MC30 , 4D006PB20 , 4D006PC01 , 4D066BB20 , 4D066EA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭63-028417

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