特許
J-GLOBAL ID：200903076284568526
絶対湿度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050363
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249066
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：
【要約】【目的】 応答性に優れ、常時安定して高精度に湿度検出を行い得る絶対湿度センサを提供するものである。【構成】 高熱伝導率材質の窒化アルミニウム基板7上に金属性又はセラミック性の薄膜感熱抵抗体8を成膜した発熱部100を、それぞれ湿気,乾燥状態に置かれる2個の感熱抵抗素子1,2に備えている。これにより、絶対湿度センサは感熱抵抗素子1,2の発熱部100が湿気の変化に鋭敏に反応して短時間に熱平衡されるので、使用状態に依らず高精度な湿度検出を行い得る。
請求項（抜粋）：
被検出雰囲気に晒される第1の感熱抵抗素子と、該第1の感熱抵抗素子と同一の特性を持つと共に、乾燥状態に置かれる第2の感熱抵抗素子とを備え、前記被検出雰囲気の状態に応じて該第1及び第2の感熱抵抗素子間に相対的に発生する抵抗値の差に基づいて湿度を検出する絶対湿度センサにおいて、前記第1及び第2の感熱抵抗素子のそれぞれは、薄膜感熱抵抗体を高熱伝導率材質の基板上に成膜した発熱部を含むことを特徴とする絶対湿度センサ。
引用特許：
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