特許

J-GLOBAL ID：200903076291400240

半導体装置及びその製造方法

発明者： 森脇 將 ,  山田 隆順
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-214597
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044423
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 コンタクトのアスペクト比が大きくなっても、コンタクトホールに金属膜を埋め込む工程が困難になる事態を回避する。【解決手段】 シリコン基板100の上に堆積された絶縁膜107にゲート電極形成用の凹状溝108を形成した後、シリコン窒化酸化膜109及び第1の高融点金属膜110を形成する。コンタクトホール112を形成した後、第2の高融点金属膜113及び金属膜114を堆積する。金属膜114、第2の高融点金属膜113及び第1の高融点金属膜110における絶縁膜102の上に露出している部分を除去して、金属膜114からなるゲート電極114A及びコンタクト114B、第2の高融点金属膜113からなる内側バリア層113A及びコンタクト用バリア層113B、並びに第1の高融点金属膜110からなる外側バリア層110Aを形成する。内側バリア層113A及び外側バリア層110Aによってゲート電極用バリア層が構成されている。

請求項（抜粋）：

半導体基板上の絶縁膜に形成された凹状溝に、前記半導体基板との間にゲート絶縁膜を介在させて埋め込まれた金属膜からなるゲート電極と、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールに、前記ゲート電極と同一工程において、前記半導体基板に形成されている不純物層と接するように埋め込まれたコンタクトと、前記絶縁膜及びゲート絶縁膜と前記ゲート電極との間に設けられており、前記凹状溝の壁面及び前記ゲート絶縁膜と接するように形成された第1の高融点金属膜からなる外側バリア層と、前記ゲート電極の側面及び下面と接するように形成された第2の高融点金属膜からなる内側バリア層とから構成されるゲート電極用バリア層と、前記コンタクトホールの壁面及び底面と前記コンタクトとの間に設けられており、前記内側バリア層と同一工程において形成されたコンタクト用バリア層とを備えていることを特徴とする半導体装置。

IPC (9件)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/8234 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 29/43

FI (7件)：

H01L 29/78 301 G ,  H01L 21/28 301 R ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/90 D ,  H01L 27/08 102 D ,  H01L 27/10 681 Z ,  H01L 29/62 G

Fターム (149件)：

4M104AA01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB36 ,  4M104CC05 ,  4M104DD03 ,  4M104DD04 ,  4M104DD08 ,  4M104DD16 ,  4M104DD18 ,  4M104DD23 ,  4M104DD26 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD75 ,  4M104DD94 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104EE17 ,  4M104FF07 ,  4M104FF13 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH05 ,  4M104HH08 ,  4M104HH13 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH27 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ33 ,  5F033KK01 ,  5F033MM01 ,  5F033MM12 ,  5F033MM18 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN20 ,  5F033NN31 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ16 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ94 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS25 ,  5F033SS27 ,  5F033TT02 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033VV16 ,  5F033WW02 ,  5F033XX02 ,  5F033XX10 ,  5F033XX24 ,  5F033XX28 ,  5F033XX33 ,  5F040DC01 ,  5F040EA08 ,  5F040EA09 ,  5F040EC02 ,  5F040EC03 ,  5F040EC04 ,  5F040EC08 ,  5F040EC12 ,  5F040EC19 ,  5F040ED03 ,  5F040EF02 ,  5F040EH02 ,  5F040EH07 ,  5F040EK05 ,  5F040FA02 ,  5F040FA03 ,  5F040FA07 ,  5F040FB02 ,  5F040FC10 ,  5F048AA01 ,  5F048AA09 ,  5F048AB01 ,  5F048AB03 ,  5F048AC01 ,  5F048BA01 ,  5F048BB08 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB13 ,  5F048BB14 ,  5F048BC06 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BF07 ,  5F048BF12 ,  5F048DA27 ,  5F083AD01 ,  5F083BS46 ,  5F083GA02 ,  5F083GA03 ,  5F083GA28 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083KA05 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083MA20 ,  5F083PR13 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR36 ,  5F083PR40 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083ZA06 ,  5F083ZA12