特許
J-GLOBAL ID：200903076293125742
高純度窒素ガス製造方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澤木 誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-027555
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218121
出願日： 1994年02月01日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は断続運転可能な高純度窒素ガス製造方法及び装置を得るにある。【構成】 精留塔として規則充填物式精留塔を用い、主熱交換器、精留塔、高純度窒素ガス凝縮器、高純度液体窒素貯槽及びこれらの連結管を単一断熱容器内に収納した高純度窒素ガス製造装置。高純度液体窒素貯槽からの高純度液体窒素ガスを気化する加圧サイクルとバックアップサイクルが付加されている高純度窒素ガス製造装置。二酸化炭素及び水分を除去し冷却した圧縮原料空気を、規則充填物式精留塔内で高純度液体窒素貯槽からの高純度液体窒素及びまたは高純度窒素凝縮器で液化された高純度液体窒素と気液接続せしめて製品高純度窒素ガスを精留分離する高純度窒素ガス製造方法。
請求項（抜粋）：
高純度液体窒素貯槽と、高純度窒素凝縮器と、規則充填物式精留塔と、主熱交換器と、これら及びこれら相互の連結導管とを収納する単一断熱容器と、上記高純度液体窒素貯槽から高純度液体窒素を上記規則充填物式精留塔上部に導入する手段と、外部より取り入れた圧縮原料空気から二酸化炭素及び水分を除去する手段と、この圧縮原料空気を上記主熱交換器で液化点近くまで冷却し上記規則充填物式精留塔下部に導入する手段とより成り、上記圧縮原料空気より製品高純度窒素ガスを精留分離することを特徴とする高純度窒素ガス製造装置。
引用特許：
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