特許
J-GLOBAL ID：200903076293804267
ベルト搬送方式成膜装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286589
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107240
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：
【要約】【課題】 熱CVD工程中にガラス基板が反ることによって搬送ベルトとの間に擦れが生じ、この擦れによって生ずるゴミの発生を減少させる。【解決手段】 ベルトリングを芯線を通してつなぎ合わせた搬送ベルトにガラス基板を載置し、成膜炉内を移動させてガラス基板に成膜を行なうベルト搬送方式成膜装置において、搬送ベルト5aは、外径の大きいベルトリング8bと外径の小さいベルトリング8aの列を組み合わせて構成され、外径の大きいベルトリング8bの列でガラス基板1を支持することによって、搬送ベルト5aとガラス基板1との接触面積を減少させる。
請求項（抜粋）：
ベルトリングを芯線を通してつなぎ合わせた搬送ベルトを有し、前記搬送ベルトをローラーおよびテンションローラーを介して回転移動させ、搬送ベルトにガラス基板を載置して成膜炉内を移動させ成膜を行なうベルト搬送方式成膜装置において、前記搬送ベルトは外径の大きいベルトリングの列と外径の小さいベルトリングの列とを交互に配置して組み合わされていることを特徴とするベルト搬送方式成膜装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 F
, H01L 21/205
4K030CA06
, 4K030GA12
, 4K030KA23
, 5F045AA03
, 5F045BB15
, 5F045CA15
, 5F045DP23
, 5F045EM01
, 5F045EM06
, 5F045EM08
, 5F045EM10
, 5F045EN04
, 5F045EN10
