特許
J-GLOBAL ID：200903076294271920
フォトン走査トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-029818
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196937
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的はより高分解能かつ散乱光集光効率の高いフォトン走査トンネル顕微鏡を提供することにある。【解決手段】 被測定試料10表面のエバネッセント光場16へプローブ64を進入させることにより発生する散乱光Lを採取する散乱光採取手段18を備えたフォトン走査トンネル顕微鏡30において、前記散乱光採取手段30は、前記プローブ64基部の略全周にわたって設けられた散乱光Lを集光する集光部62を有することを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
請求項（抜粋）：
被測定試料表面のエバネッセント光の場へプローブを進入させることにより発生する散乱光を採取する散乱光採取手段を備えたフォトン走査トンネル顕微鏡において、前記散乱光採取手段は、前記プローブ基部の略全周にわたって設けられた散乱光を集光する集光部を有することを特徴とするフォトン走査トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G01B 11/30 Z
