特許
J-GLOBAL ID：200903076296494242

表面弾性波を用いたマイクロビーム照射領域検出方法

発明者：
北澤 真一

北澤 真一 について

, 
神谷 富裕

神谷 富裕 について


出願人/特許権者：
日本原子力研究所

日本原子力研究所 について


代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  桜井 周矩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232212
公開番号（公開出願番号）：特開2006-047244
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 従来の方法では不可能であったマイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、長寿命な素子で、高分解能(時問・空間)に計測することにある。【解決手段】 長寿命な素子で、高分解能(時間・空間)に計測する手段として、表面弾性波を効率的に誘起・伝播する特性を持ち、放射線に対して耐性をもつ物質にマイクロビームの形状を持つ放射線を照射することにより励起される表面弾性波を検出することにより、マイクロビーム照射による照射像の二次元的な形状を、計測する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
標的物質に、マイクロビーム(マイクロメートルのビーム形状をもつ放射線(電子線、軽イオン、重イオン))を照射することによって励起する表面弾性波を用いて、照射面におけるビームの形状、強度、頻度を測定する、表面弾性波を用いたマイクロビーム照射領域検出方法。
IPC (3件)：
G01T 1/29 ,  G01N 29/00 ,  G21K 5/04
FI (3件)：
G01T1/29 A ,  G01N29/00 501 ,  G21K5/04 C
Fターム (16件)：
2G047BC02 ,  2G047BC18 ,  2G047CA04 ,  2G047CA07 ,  2G047CB03 ,  2G047EA01 ,  2G047EA08 ,  2G047EA21 ,  2G047GB21 ,  2G047GD01 ,  2G047GG46 ,  2G088FF12 ,  2G088FF13 ,  2G088FF14 ,  2G088FF20 ,  2G088GG30
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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