特許
J-GLOBAL ID：200903076306445520
ノズルの移動機構
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173789
公開番号（公開出願番号）：特開平5-337427
出願日： 1992年06月08日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】 ノズルの高速移動時にも振動及び衝撃が発生せず,またノズルとコータハウスとの衝突の危険のないノズルの移動機構を提供する。【構成】 スピンナ装置の塗布液の吐出に用いられるノズルの移動機構において,入力軸と共に回転する上下動用カム及び水平動用カムと,上記上下動用カムのカム表面の変位を揺動角度に変換して上下駆動アームに伝達するカムフォロア及び上下動出力軸と,上記水平動用カムのカム表面の変位を揺動角度に変換して水平駆動アームに伝達するカムフォロア及び水平動出力軸と,上記上下駆動アームの揺動角度を上記ノズルの上下位置の変位に変換する上下動ベース及びスライド軸と,上記水平駆動アームの揺動角度を上記ノズルの水平位置の変位に変換する水平動ベース及びスライドレールとからなる。
請求項（抜粋）：
スピンナ装置の塗布液の吐出に用いられるノズルの移動機構において,入力軸と共に回転する上下動用カム及び水平動用カムと,上記上下動用カムのカム表面の変位を揺動角度に変換して上下駆動アームに伝達するカムフォロア及び上下動出力軸と,上記水平動用カムのカム表面の変位を揺動角度に変換して水平駆動アームに伝達するカムフォロア及び水平動出力軸と,上記上下駆動アームの揺動角度を上記ノズルの上下位置の変位に変換する上下動ベース及びスライド軸と,上記水平駆動アームの揺動角度を上記ノズルの水平位置の変位に変換する水平動ベース及びスライドレールとからなることを特徴とするノズルの移動機構。
IPC (3件)：
B05C 11/08
, B05C 5/00
, H01L 21/027
