特許
J-GLOBAL ID：200903076309807920
投影レンズの評価装置及び評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-010164
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198476
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 容易に且つ高精度で投影レンズの評価を行うことを目的とする。【構成】 マスク3の複数の焦点合わせ用パターン8のうち選択されたパターンを通過した後に投影レンズ4を介してウエハ5に至った照明光は、ウエハ5で反射して再びその焦点合わせ用パターン8を通過する。この照明光はハーフミラー6で反射されてセンサ7に入射し、ここで光量が検出されてベストフォーカス位置が求められる。移動装置6aによりハーフミラー6を移動させて全ての焦点合わせ用パターン8に対応するベストフォーカス位置を求め、ベストフォーカスの分布を計測する。
請求項（抜粋）：
照明光を発する光源と、それぞれ遮光部分と透過部分とが交互に繰り返し配列された複数の焦点合わせ用パターンが全面にわたって形成されたマスクと、前記光源から発した照明光を前記マスク上に照射させることにより前記マスクを通過した照明光を評価しようとする投影レンズに入射させる集光レンズと、投影レンズにより集光された照明光を反射して再び投影レンズに入射に照射させる反射手段と、前記マスクの複数の焦点合わせ用パターンのうち選択された焦点合わせ用パターンを通過した後に前記反射手段で反射して再びその焦点合わせ用パターンを通過した照明光を反射するハーフミラーと、選択された焦点合わせ用パターンに対応して前記ハーフミラーを前記マスクの表面に沿って移動させる移動装置と、前記ハーフミラーで反射された照明光の光量を検出するセンサとを備えたことを特徴とする投影レンズの評価装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 311 S
