特許

J-GLOBAL ID：200903076311607512

光導波路デバイス

発明者： 定行 勝 ,  林 智幸 ,  安間 康浩 ,  市川 智徳
出願人/特許権者： エフ・ディ-・ケイ株式会社
代理人 (1件)： 一色 健輔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-209348
公開番号（公開出願番号）：特開2003-021815
出願日： 2001年07月10日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 基板に形成した光導波路の光伝播をその基板上に形成したヒータ電極で可変制御するようにした光導波路デバイスにおいて、PDL(偏波依存損失)を効果的に低減させる。【解決手段】 ヒータ電極42からの熱が上記光導波路20の幅方向と深さ方向とに均等に伝導するように、さらに望ましくは、上記ヒータ電極42から上記基板10に作用する膜応力が-1.5×108〜1.5×108[N/m2]の範囲内となるように、上記ヒータ電極42を形成する。

請求項（抜粋）：

基板に形成した光導波路の光伝播をその基板上に形成したヒータ電極で可変制御するようにした光導波路デバイスにおいて、上記ヒータ電極からの熱が上記光導波路の幅方向と深さ方向とに均等に伝導するように上記ヒータ電極を形成したことを特徴とする光導波路デバイス。

IPC (2件)：

G02F 1/01 ,  G02B 6/12

FI (3件)：

G02F 1/01 C ,  G02B 6/12 H ,  G02B 6/12 F

Fターム (17件)：

2H047KA04 ,  2H047LA12 ,  2H047LA18 ,  2H047NA01 ,  2H047PA13 ,  2H047PA22 ,  2H047QA04 ,  2H047RA00 ,  2H079AA06 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA09 ,  2H079DA17 ,  2H079EA05 ,  2H079HA11 ,  2H079JA01 ,  2H079JA05