特許

J-GLOBAL ID：200903076314848758

定量計測用超音波顕微鏡装置

発明者： 櫛引 淳一 ,  小野 雄
出願人/特許権者： 櫛引 淳一
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081271
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281634
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】温度を安定化して高精度の定量計測を可能とする。【解決手段】超音波デバイス及び試料台を含む機械操作部が設置されたケースの内部の温度を、温度センサーにより常時監視しながら温度コントローラにより空調機出力を制御し、温度制御された空気をケース内に循環させる。更に水カプラの周囲をカーテンで囲んで水カプラの環境の水蒸気を飽和に近づける。

請求項（抜粋）：

試料表面との間に水カプラを介在させて音響レンズが設けられた超音波顕微鏡機構部と、上記超音波顕微鏡機構部を収容し、外部環境から遮断するケースと、上記ケースの外に設けられ、上記超音波顕微鏡機構部に電気的に接続されて高周波パルスを供給し、その応答信号を測定することにより上記試料の特性を測定する制御測定部と、上記ケース内に設けられ、温度を検出して検出温度信号を出力する温度センサと、上記ケースと送風ダクトと排気ダクトにより接続され、温度制御された空気を上記送風ダクト、上記ケース、上記排気ダクトを通して循環させる空調手段と、上記温度センサからの検出温度信号に基づいて上記空調手段における送風温度を制御する温度制御手段と、上記ケース内において上記水カプラの周囲を囲んでほぼ閉じた空間を形成するための空間遮蔽手段と、を含む定量計測用超音波顕微鏡装置。