特許
J-GLOBAL ID:200903076319230256
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-320697
公開番号(公開出願番号):特開2000-147754
出願日: 1998年11月11日
公開日(公表日): 2000年05月26日
要約:
【要約】【課題】 感光層塗料として支持体等に塗布した場合でもハジキが発生することなく均一な厚さの感光層が形成でき、かつ、感度を低下させることなく硬調な画像形成性を示し、焼きぼけ、白灯安全性、および現像許容性の広い満足するべき感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 少なくとも下記(1)および(2)で示される構成単位を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする。(1)水素原子がフッ素原子に置換されたフルオロ脂肪族基を2つ以上有する付加重合可能なモノマー、(2)酸性水素原子を有する付加重合可能なモノマー。
請求項(抜粋):
少なくとも下記(1)および(2)で示される構成単位を共重合成分として有する高分子化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。(1)水素原子がフッ素原子に置換されたフルオロ脂肪族基を2つ以上有する付加重合可能なモノマー(2)酸性水素原子を有する付加重合可能なモノマー
IPC (4件):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, H01L 21/027
FI (4件):
G03F 7/004 504
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, H01L 21/30 502 R
Fターム (19件):
2H025AA00
, 2H025AA01
, 2H025AB03
, 2H025AB08
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BE01
, 2H025CB29
, 2H025CC04
, 2H025FA17
, 2H096AA06
, 2H096AA08
, 2H096AA24
, 2H096AA25
, 2H096BA10
, 2H096BA20
, 2H096EA02
, 2H096GA08
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