特許
J-GLOBAL ID：200903076328777381
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-218112
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138242
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：
【要約】【目的】 基板の上面に支持板を固定し、この支持板の下面に針押さえを固定することにより、基板が熱変形した場合でも、針押さえの高さ位置の変動を少なくする。【構成】 基板36の上面には支持板42が固定され、支持板42の下面には針押さえ32が固定されている。針押さえ32は、基板36の中央部分の矩形の基板貫通孔38から下方に突き出している。基板36と支持板42とを固定する締結装置44の位置は、支持板42と針押さえ32とを固定する締結装置40の位置よりも、基板36の外周側にある。針押さえ32と支持板42の中央には、ほぼ同じ大きさの矩形の針押さえ貫通孔46と支持板貫通孔48が形成されていて、プローブ針30と被検体の電極との接触状態を上方から顕微鏡などを用いて観察できるようになっている。
請求項（抜粋）：
複数のプローブ針と、これらのプローブ針の先端位置が被検体の電極配置に対応するようにプローブ針を固定する針押さえと、プローブ針と外部の検査装置とを電気的に接続するための配線パターンを形成した基板とを備えるプローブカードにおいて、次の構成を備えるプローブカード。(イ)前記基板に基板貫通孔が形成されている。(ロ)前記基板貫通孔を覆うように前記基板の上面に支持板が固定されている。(ハ)前記支持板の下面に前記針押さえが固定されている。(ニ)前記針押さえは前記基板貫通孔の内側にあって前記基板には接触していない。(ホ)前記針押さえの下端は前記基板貫通孔から下方に突き出している。(ヘ)前記支持板に支持板貫通孔が形成されている。(ト)前記支持板貫通孔は前記プローブ針の先端の上方に位置している。(チ)前記針押さえに針押さえ貫通孔が形成されている。(リ)前記針押さえ貫通孔は前記プローブ針の先端の上方に位置している。(ヌ)前記基板と前記支持板との固定位置は、前記支持板と前記針押さえとの固定位置よりも、基板の外周側に位置している。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
