特許
J-GLOBAL ID：200903076329876243
静電チャック及びこの静電チャックを備えたプラズマ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-204801
公開番号（公開出願番号）：特開平5-200640
出願日： 1991年07月19日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】プラズマダメージを受けにくく、静電吸着用シートの寿命を大幅に高めることができる静電チャック及びこれを用いたプラズマ装置を提供すること。【構成】チャック本体32の表面には円形の静電吸着用シート40が配設される。チャック本体32の表面には凹部46が設けられ、この凹部46に隣接する位置に開口してチャック本体32を貫通するスリット48が設けられる。帯状の給電用シート42は、その折り曲げられた上端が凹部46に収容されてチャック本体32表面とほぼ面一となり、接点54,62の接続により静電吸着用シート40と電気的に接続される。給電用シート42のそれ以外の領域はスリット48に挿通され、チャック本体32の裏面側に引き出されている。従って、給電用シート42はプラズマ雰囲気に晒されることがない。
請求項（抜粋）：
チャック本体表面側にて、2枚の絶縁シート間に導電層を介在して成る静電吸着用シートを配設して成る静電チャックにおいて、2枚の絶縁シート間に導電層を介在して構成され、上記チャック本体を貫通して配設される給電用シートを設け、この給電用シート及び上記静電吸着用シートを電気的に接続したことを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/302
, H01L 21/68
