特許

J-GLOBAL ID：200903076333402280

研磨用組成物

発明者： 児 玉 一 志 ,  三 浦 史 朗 ,  大 竹 秀 樹 ,  河 村 篤 紀 ,  伊 東 真 時
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-243196
公開番号（公開出願番号）：特開平10-088111
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月07日
要約：

【要約】【課題】 長期間の貯蔵後も沈殿物の再分散性が良好であり、研磨加工面にスクラッチおよびその他の表面欠陥の発生を防止でき、フュームドアルミナまたはフュームドシリカの添加量により選択比を調節することが可能である研磨用組成物の提供。【解決手段】 窒化ケイ素微粉末、水、およびフュームドアルミナまたはフュームドシリカを含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素微粉末、水、およびフュームドアルミナまたはフュームドシリカを含んでなることを特徴とする、研磨用組成物。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00

FI (4件)：

C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H