特許
J-GLOBAL ID：200903076337066757
液体供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-267653
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106795
出願日： 1991年10月16日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 流量の変動が少ない液体供給装置を提供すること。【構成】 液体Aを収容するタンク2、このタンク2に接続され前記タンク2内の液体Aを目的の装置6に送給するための経路3、前記タンク2内の液体Aを加圧する加圧手段1、前記経路3内に設けられ、該経路3内を通流する液体の量を所望の範囲内に制御する制御手段4、前記経路3の前記制御手段4より下流側に設けられた気泡分離手段13を備えるように構成した。
請求項（抜粋）：
液体を収容するタンク、このタンクに接続され前記タンク内の液体を目的の装置に送給するための経路、前記タンク内の液体を加圧する加圧手段、前記経路内に設けられ、該経路内を通流する液体の量を所望の範囲内に制御する制御手段、前記経路の前記制御手段より下流側に設けられた気泡分離手段を備えたことを特徴とする液体供給装置。
IPC (2件)：
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