特許
J-GLOBAL ID：200903076339208052
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-354464
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165796
出願日： 1999年12月14日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】【課題】 微小な圧力に対する感度が低い。【解決手段】 可撓性基板の主面に圧力検出用の薄膜抵抗体5を被着させて成る圧力検出板4を、その端部近傍に対応する一対の平行な支持部3を設けた支持体1上に載置して成り、圧力検出板4の上面に印加された圧力を圧力検出板4の撓みに伴う薄膜抵抗体5の抵抗値の変化に基づいて検出することを特徴とする圧力センサである。圧力検出板4が良好に撓み、微小な圧力変化に対する感度が高い。
請求項（抜粋）：
可撓性基板の主面に圧力検出用の薄膜抵抗体を被着させて成る圧力検出板を、その端部近傍に対応する一対の平行な支持部を設けた支持体上に載置して成り、前記圧力検出板の上面に印加された圧力を前記圧力検出板の撓みに伴う前記薄膜抵抗体の抵抗値の変化に基づいて検出することを特徴とする圧力センサ。
Fターム (6件)：
2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD09
, 2F055EE11
, 2F055FF11
, 2F055GG11
