キャップ付き多孔性薄膜

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-506415
公開番号（公開出願番号）：特表2001-502013
出願日： 1997年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】斜めに入射する蒸気束の存在下で基板を回転することにより蒸着された薄膜を製造する方法。基板は相互に直交する軸に設けられた2つのモーターにより基板の表面に対する法線方向の軸及び/又は基板の表面に平行な軸に関して回転される。キャップが例えば堆積される材料の拡散距離を増加することにより、又は基板に平行な面に関して基板を回転する(蒸気束の入射角を変化することと等価である)ことにより薄膜上に形成される。堆積速度モニタからのフィードバックは決定されたパターンで成長させるよう両方のモーターの回転速度を制御することを許容する。

請求項（抜粋）：

ます円柱状薄膜を成長するよう基板の表面を斜めの入射角で蒸気束に露出し、該円柱状薄膜にキャップ層を形成する各段階からなる蒸着された薄膜を蝕刻する方法。

IPC (2件)：

C23C 14/24 , H01L 21/203

FI (2件)：

C23C 14/24 V , H01L 21/203 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-058000
放射線画像変換パネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-083191 出願人：コニカ株式会社
特開昭63-132203

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