特許
J-GLOBAL ID：200903076347364489
45度マイクロミラー装置の光学的品質を改良する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-121296
公開番号（公開出願番号）：特開2001-116913
出願日： 2000年04月21日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、45度マイクロミラー装置の光学的品質を改良する方法を提供する。【溶液手段】 腐食液としてアルカリ性の水溶液を準備し、これを55°Cと95°Cの間に温度制御し、攪拌し振動させつつエッチングし、シリコンウェーハに関し45度の角度を有する<111>面にマイクロミラー20を形成する。この方法は、45度マイクロミラー装置の光学的品質を改良できる。シリコン基板30にレーザダイオード10と他の光学的センサ結合することによって、マイクロミラー20が、薄い光学的ピックアップヘッドに適用され得る。
請求項（抜粋）：
次の工程を有するシリコン基板(Si基板)上に設けられた45度マイクロミラーの光学的品質を改良する方法:腐食液としてアルカリ性の水溶液を準備し、55°Cと95°Cの間の温度に腐食液を温度制御してエッチングし、エッチングの間、腐食液を攪拌し振動させること。
IPC (4件)：
G02B 5/08
, G11B 7/135
, G11B 7/22
, H01S 5/022
G02B 5/08 Z
, G11B 7/135 A
, G11B 7/22
, H01S 5/022
2H042DA01
, 2H042DA12
, 2H042DC01
, 2H042DE00
, 5D119AA38
, 5D119BA01
, 5D119JA57
, 5D119NA05
, 5F073BA04
, 5F073EA29
, 5F073FA02
, 5F073FA13
, 5F073FA30
