特許

J-GLOBAL ID：200903076354529809

アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置

発明者： 山賀 洋和
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-249695
公開番号（公開出願番号）：特開2008-068369
出願日： 2006年09月14日
公開日（公表日）： 2008年03月27日
要約：

【課題】低コスト化を図りつつ、温度変化による影響を受けることなく、質量部の挙動を高精度に検知することができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。【解決手段】本発明のアクチュエータ1は、圧電素子31〜34の作動により、第1の弾性部26、27を捩れ変形させながら第1の質量部21、22を回動させ、これに伴い、第2の弾性部28、29を捩れ変形させながら第2の質量部25を回動させるように構成されたものであって、第2の質量部25の挙動を検知する挙動検知手段は、第2の質量部25の回動に伴う第2の質量部25の周囲の気体の振動を検知する振動検知素子8を備え、振動検知素子8の検知結果に基づいて、第2の質量部25の挙動(振動数)を検知するように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

質量部と、 前記質量部を支持するための支持部と、 弾性変形可能な少なくとも1つの弾性部を備え、前記支持部に対して前記質量部を回動可能に連結する連結部と、 前記質量部を回動駆動させる駆動手段とを有し、 前記駆動手段の作動により、前記連結部の前記弾性部を捩れ変形させながら、前記質量部を回動させるように構成されたアクチュエータであって、 前記質量部の挙動を検知する挙動検知手段を有し、 前記挙動検知手段は、前記質量部の回動に伴う前記質量部の周囲の気体の振動を検知する振動検知素子を備え、該振動検知素子の検知結果に基づいて、前記質量部の挙動を検知するように構成されていることを特徴とするアクチュエータ。

IPC (5件)：

B81B 3/00 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/10 ,  B41J 2/44 ,  H04N 1/113

FI (5件)：

B81B3/00 ,  G02B26/08 E ,  G02B26/10 104Z ,  B41J3/00 D ,  H04N1/04 104Z

Fターム (20件)：

2C362BA17 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB44 ,  2H045CA81 ,  2H045DA02 ,  5C072AA01 ,  5C072AA03 ,  5C072BA02 ,  5C072BA13 ,  5C072BA15 ,  5C072DA04 ,  5C072HA14 ,  5C072XA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ガルバノミラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-275845   出願人：株式会社リコー