特許

J-GLOBAL ID：200903076355319794

X線応力測定方法およびX線応力測定装置

発明者： 後藤 徹
出願人/特許権者： 関西ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-143697
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324392
出願日： 2000年05月16日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：

【要約】【課題】 X線の応力測定における測定誤差を可及的に低減することを目的とする。【解決手段】 X線を発生するX線管球3と、このX線管球3からのX線を通過させて試料4に入射させる平行スリット5’と、試料4からの回折X線を検出するPSD1とを備え、回折X線の回折角度に基づいて、試料4の応力を測定するX線応力測定装置において、平行スリット5’のスリット数を、測定誤差が最小となる2としている。

請求項（抜粋）：

X線を、スリット数が2である平行スリットを介して試料に入射し、前記試料からの回折X線の回折角度を検出して前記試料の応力を測定することを特徴とするX線応力測定方法。

IPC (3件)：

G01L 1/00 ,  G01L 1/25 ,  G01N 23/207

FI (3件)：

G01L 1/00 A ,  G01L 1/25 ,  G01N 23/207

Fターム (12件)：

2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001HA01 ,  2G001KA07 ,  2G001LA02 ,  2G001SA02 ,  2G001SA07