特許

J-GLOBAL ID：200903076360554106

モータ装置、ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-205706
公開番号（公開出願番号）：特開2001-037201
出願日： 1999年07月21日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 小型化及び組み立て作業の効率化によるコストの低減を可能とし、かつ制御性に優れたモータ装置を提供する。【解決手段】 電機子コイル44は、そのコイル巻き線の両端部64a、64bがともに当該コイルの外側に存在するように巻かれている。コイル44には、端子ピン65a、65bがモールド部材49を介して一体化され、端子ピン65a、65bにコイル巻き線の両端部64a、64bが接続されている。コイルが実装される支持部材12には、端子ピンのそれぞれに対応してソケット22が設けられている。このため、端子ピン65a、65bのそれぞれを対応するソケット22に接続するだけで、ワンタッチで、コイルの固定と電気的な接続が完了する。また、多数のコイル44により電機子ユニットが構成され、この電機子ユニットは磁極ユニットとの間の電磁相互作用により線形性の良い推力を発生する。

請求項（抜粋）：

電機子コイルを複数含む電機子ユニットと、前記電機子コイルとの間に生じる電磁相互作用によって所定方向の駆動力を発生する磁石を有する磁極ユニットとを備えたモータ装置において、前記各電機子コイルは、そのコイル巻き線の両端部がともに当該コイルの外側又は内側に存在するように巻かれていることを特徴とするモータ装置。

IPC (4件)：

H02K 41/02 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027 ,  H02K 3/04

FI (5件)：

H02K 41/02 A ,  H02K 41/02 B ,  G03F 7/22 H ,  H02K 3/04 D ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (44件)：

5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5F046CC20 ,  5H603AA00 ,  5H603AA09 ,  5H603BB01 ,  5H603BB09 ,  5H603BB15 ,  5H603CA01 ,  5H603CA02 ,  5H603CA05 ,  5H603CB01 ,  5H603CB12 ,  5H603CB13 ,  5H603CB26 ,  5H603CC14 ,  5H603CC19 ,  5H603CD21 ,  5H603CD28 ,  5H603CE02 ,  5H603EE01 ,  5H603EE09 ,  5H603FA16 ,  5H641BB06 ,  5H641BB14 ,  5H641BB15 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG15 ,  5H641GG24 ,  5H641GG26 ,  5H641GG29 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH11 ,  5H641JA06 ,  5H641JB05