基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-355149
公開番号（公開出願番号）：特開平11-186141
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】ノズルからの処理液のボタ落ちを防止することが可能な基板処理装置を提供する。【解決手段】レジストノズル5は基板Wの回転中心の上方の供給位置と、基板Wの外方の待機位置との間を移動可能に形成される。待機位置には待機ポット16が配置されている。待機位置におけるレジストノズル5の近傍に、レジストノズル5に衝突するハンマ31と、ハンマ31を駆動するエアシリンダ32からなる衝撃付与手段30が設けられている。エアシリンダ32がハンマ31を駆動してレジストノズル5に衝突させることにより、レジストノズル5の先端に衝撃を与えて先端に付着した不要なレジスト液を落下させる。

請求項（抜粋）：

基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された基板に処理液を供給するノズルと、前記ノズルを前記基板保持部に保持された基板の上方の位置と基板の上方から外れた待機位置とに移動させる移動手段と、前記基板保持部に保持された基板の上方から外れた位置において前記ノズルに衝撃を与える衝撃付与手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , H01L 21/304 643 , B05C 11/08

FI (4件)：

H01L 21/30 564 C , H01L 21/304 643 C , B05C 11/08 , H01L 21/30 569 C

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