特許
J-GLOBAL ID：200903076365135004
サーマルインクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-167849
公開番号（公開出願番号）：特開平7-068760
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年03月14日
要約：
【要約】【目的】 発熱層等を有する発熱体基板と流路用溝を有する流路基板を積層、切断して吐出ノズルを形成するヘッド構造に関して、その切断時に破損が生ずることがなく、歩留まりの高いヘッドを提供すること。【構成】 単結晶基板上に蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板2と、前記単結晶基板と同じ結晶方位面に切出された単結晶基板上に異方性エッチングにより流路用溝6を形成した流路基板3とよりなり、発熱体基板2とこの流路基板3とを結晶軸方向を揃えるとともに発熱面と溝面とが相対するように積層し、この積層物を流路用溝6とほぼ垂直方向に切断してインク流路開口を形成してサーマルインクジェットヘッド1を構成した。
請求項（抜粋）：
単結晶基板上に蓄熱層と発熱層とこの発熱層に通電するための電極と保護層とを形成した発熱体基板と、前記単結晶基板と同じ結晶方位面に切出された単結晶基板上に異方性エッチングにより流路用溝を形成した流路基板とよりなり、前記発熱体基板とこの流路基板とを結晶軸方向を揃えるとともに発熱面と溝面とが相対するように積層し、この積層物を前記流路用溝とほぼ垂直方向に切断してインク流路開口を形成したことを特徴とするサーマルインクジェットヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 N
