感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-253012
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204146
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物及び溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物に於て、アルカリ可溶性樹脂が、?@フェノール性化合物と?A(a)ホルムアルデヒド及び(b)ケトン又はC2 以上のアルデヒド類との重縮合物であり、(a)/(b)の混合割合(モル比)が1/99〜99/1である感光性樹脂組成物。【効果】本発明の感光性樹脂組成物は、高解像力であり、露光マージンも大きく、特にフォトレジストとして有用である。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、キノンジアジド系感光性化合物及び溶剤を主成分とする感光性樹脂組成物において、該アルカリ可溶性樹脂が、?@下記一般式〔A〕で示される少なくとも一種のフェノール性化合物と?A(a)ホルムアルデヒド及び(b)下記一般式〔B〕で示される少なくとも一種のケトン又はアルデヒド類との重縮合物であり、かつ前記ホルムアルデヒド(a)と前記ケトン又はアルデヒド類(b)との混合割合(モル比)が(a)/(b)で1/99〜99/1であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】【化2】〔式中、R1 はR2 ,OR3 ,COOR4 又はCH2 COOR5 で示される基を示し、ここでR2 は炭素数1〜4のアルキル基を、R3 ,R4 及びR5 は夫々独立に水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、nは0〜3の整数を示し、nが2又は3の場合、複数のR1 は同一でも異なっていてもよく、R6 及びR7 は夫々独立に水素原子、炭素数1〜4の低級アルキル基、アリール基又はアラルキル基を表すが、R6 及びR7 の双方が水素原子であることはない〕。

IPC (3件)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-084414
特開平2-010348
特開平2-084414

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