特許
J-GLOBAL ID：200903076369263511
シリコンウエハの格子間酸素又は置換型炭素濃度の赤 外吸収分光法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-187456
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003268
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 より正確に酸素濃度値を求めることができる、シリコンウエハの格子間酸素又は置換型炭素濃度の赤外吸収分光法を提供することである。【構成】 基準ウエハに対する測定ウエハの差吸光度スペクトル上で酸素又は置換型炭素の局在振動吸収ピーク近傍のベースラインにもとずいて吸収ピークのベースラインをスプライン補間する工程と、スプライン補間のベースラインから酸素又は置換型炭素の局在振動吸収ピークまでのピーク高さを吸光度として平行偏光ブリュースター角入射赤外線分光法にしたがって酸素又は置換型炭素の振動吸収係数を求める工程と、振動吸収係数を格子間酸素濃度又は置換型炭素濃度に変換する工程を含む、シリコンウエハの格子間酸素又は置換型炭素濃度の赤外吸収分光法。
請求項（抜粋）：
次の諸工程を含む、シリコンウエハの格子間酸素又は置換型炭素濃度の赤外吸収分光法。(a)基準ウエハに対する測定ウエハの差吸光度スペクトル上で酸素又は置換型炭素の局在振動吸収ピーク近傍のベースラインにもとずいて吸収ピークのベースラインをスプライン補間する工程と、(b)スプライン補間のベースラインから酸素又は置換型炭素の局在振動吸収ピークまでのピーク高さを吸光度として平行偏光ブリュースター角入射赤外線分光法にしたがって酸素又は置換型炭素の振動吸収係数を求める工程と、(c)振動吸収係数を格子間酸素濃度又は置換型炭素濃度に変換する工程。
IPC (3件)：
G01N 21/35
, G01N 21/00
, H01L 21/66
