特許

J-GLOBAL ID：200903076371510046

チタン酸化物膜の成膜方法

発明者： 原 浩一 ,  小島 啓安 ,  尾山 卓司 ,  大崎 壽
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-271335
公開番号（公開出願番号）：特開平8-134638
出願日： 1994年11月04日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【構成】TiO<SB>x</SB> ターゲット1(0<x<2)を用い、スパッタリングガスとして、一定の水分圧、好ましくは10<SP>-5</SP>〜10<SP>-3</SP>Torrの水分圧、で水分を含有するスパッタリングガスを用いるチタン酸化物膜の成膜方法。水分圧の調整は、例えば、スパッタリングガス中の水分量を質量分析計で読みとりながら行う。【効果】大面積で均一な透明なチタン酸化物膜を、高速かつ安定して形成できる。

請求項（抜粋）：

TiO<SB>x</SB> ターゲット(0<x<2)を用いスパッタリングによりチタン酸化物膜を成膜する方法において、スパッタリングガス中に水分を調整し導入することを特徴とするチタン酸化物膜の成膜方法。

IPC (4件)：

C23C 14/34 ,  B01J 19/08 ,  C01G 23/04 ,  C23C 14/08