特許

J-GLOBAL ID：200903076372174872

スパッタリング装置

発明者： 高倉 英夫 ,  向井 康雄 ,  中町 由美 ,  鈴木 敏夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342043
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196476
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、メンテナンスサイクルを延長し製品歩留まり向上、稼動率の向上を可能とし、かつ安価なスパッタリング装置を提供する。【構成】 金属製の防着機構のターゲット面に対向する面に、該ターゲット材と同材質の分割された防着分割板を固着し、ターゲット材周辺部に設けたシールド板に前記ターゲット材と同材質の分割されたシールド分割板を固着したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

金属製の防着機構のターゲット面に対向する面に該ターゲット材と同材質の分割された防着分割板を固着し、前記ターゲット材周辺部に設けているシールド板に該ターゲット材と同材質の分割されたシールド分割板を固着したことを特徴とするスパッタリング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/31 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-152271
  
• 特開昭60-120515
  
• 特開昭55-034689