特許
J-GLOBAL ID：200903076375465797
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353747
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198745
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、電圧源からの靜電駆動用電圧をそのまま靜電力発生用の電圧として電圧源の構成を簡易化しコスト低減を図ることを目的とする。【構成】 重り部3と梁部2とをPN接合で電気的に分離し、重り部3と自己診断用の電極11間には独立の電圧源13から靜電駆動用電圧を印加するようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板のエッチング加工により形成され、固定部に梁部で支持されて被検出加速度に応じて変位する重り部を有し、前記梁部の表面部にはピエゾ抵抗が形成されたセンサチップと、該センサチップの下部に前記重り部と所要のエアギャップを有するように接合され、前記重り部との対向面に電極が形成された台座とを備え、前記重り部と前記電極間への印加電圧で生じる靜電力によりセンサ機能を自己診断するようにした加速度センサにおいて、前記重り部と梁部とをPN接合で電気的に分離し、前記重り部と前記電極間には独立の電圧源から靜電駆動用電圧を印加するように構成してなることを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 21/00
, H01L 29/84
