特許

J-GLOBAL ID：200903076376810579

透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法

発明者： 谷口 佳史 ,  砂子沢 成人
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048202
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246709
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】 ノイズを強調したりせずに元素分布像を実時間観察する。【解決手段】 目的の元素のコアロスエネルギーをEc、エネルギー選択スリットの幅をΔEとする。まず、電子銃2の加速電圧をEc-ΔEだけ増加させたプリエッジ像と、Ec-2ΔEだけ増加させたプリプリエッジ像を同じ露光時間で撮影し、その強度比Rを求める。次に、加速電圧をEcだけ増加させたポストエッジ像を露光時間tpreで撮影し、プリエッジ像を露光時間R×tpreで撮影する。コンピュータ20内でポストエッジ像からプリエッジ像を単純に画像の引き算を行うことにより、目的の元素分布像を得る。

請求項（抜粋）：

エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡によって撮像されたコアロス電子を含むエネルギー領域の像とコアロス電子を含まないエネルギー領域の像の画像間減算によって特定元素の元素分布像を得る元素分布観察方法において、前記コアロス電子を含まないエネルギー領域の像の露光時間を前記コアロス電子を含むエネルギー領域の像の露光時間よりも短く設定することを特徴とする元素分布観察方法。

IPC (3件)：

G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 ,  H01J 37/26

FI (3件)：

G01N 23/04 ,  H01J 37/22 501 A ,  H01J 37/26