反射型液晶表示装置およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-043194
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239704
出願日： 1997年02月27日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】明るく高コントラストを有する反射型アクティブマトリクス型液晶表示装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 TFT26等のスイッチング素子を有する反射型液晶表示装置において、TFT26に接続される反射電極16が積層構造を有しており、上層がAgまたはAl等の金属膜15、下層が黒色化されたITO等の透明導電性膜の黒色層14で構成されている。そのことにより、反射電極16の裏面側での反射が効果的に抑制される。黒色層14は、酸素濃度の高いガスを用いて成膜する。または、透明導電性膜に対して水素プラズマまたは水素イオンを照射することによって、その部分を還元させて形成する。または、透明導電性膜が形成された基板を電解液中に浸漬し、電圧を印加して陰極還元させて形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上にマトリクス状に形成されたスイッチング素子と、前記スイッチング素子を被覆する絶縁性の平坦化膜と、前記平坦化膜に開口されたコンタクトホールを介して前記スイッチング素子に電気的に接続される反射電極とを具備するアクティブマトリクス基板、およびこれに対向する対向基板を有し、これらの基板間に液晶を封入してなる反射型液晶表示装置において、前記反射電極は、上層が金属膜からなり、下層が一部または全体が黒色化された透明導電性膜からなることを特徴とする反射型液晶表示装置。

IPC (2件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343

FI (2件)：

G02F 1/136 500 , G02F 1/1343

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