特許
J-GLOBAL ID：200903076385521989
エネルギー分散型X線検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-034976
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230055
出願日： 1996年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 デュア内に液体窒素が導入されず、枠体内が常温となる場合であっても、半導体素子が劣化せず、精度の高いX線検出が可能となるエネルギー分散型X線検出装置を提供する。【解決手段】 X線の検出時には、液体窒素デュア5cに液体窒素が導入され、コールドフィンガ10及びデュア部配管5bが共に冷却され、弁体20は開いた状態となり、検出部2の真空室6が、デュア部3の真空室7とが連通されることで、真空室6は高真空に保持される。液体窒素デュア5cに液体窒素が導入されていない状態では、検出部2及びデュア部3の真空室6が常温となるため、弁体20は閉じた状態となり、検出部2の真空室6とデュア部3の真空室7とは完全に隔離され、常温となることによりガス吸着剤9から脱着したガスは、真空室6に到達せず、半導体素子1を劣化させることがない。
請求項（抜粋）：
X線を検知する半導体素子と、この半導体素子を支持する支持部材と、この支持部材を介して前記半導体素子を冷却する冷媒部と、前記半導体素子及び前記支持部材を真空に保持する枠体と、この枠体内のガスを吸着するガス吸着剤と、を備えたエネルギー分散型X線検出装置において、前記枠体内の前記半導体素子と前記ガス吸着剤との間に配設され、前記半導体素子の冷却時に開き、前記半導体素子の非冷却時に閉じることで、非冷却時に前記ガス吸着剤から前記半導体素子を隔離する弁を備えたことを特徴とするエネルギー分散型X線検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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