特許
J-GLOBAL ID：200903076388700493
平面研磨装置用定盤及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 宏 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-231402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-055459
出願日： 1992年08月06日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：
【要約】【目的】 ペレットが脱落しにくく且つ研磨液の保持性に勝れた平面研磨装置用定盤を得ること。【構成】 ドーナッツ形をなす金属製の定盤本体2の表面に、ダイヤモンド砥粒からなる複数の研磨用ペレット3を所望の配列パターン及び間隔で取り付けると共に、各ペレット間の隙間に合成樹脂4を充填することにより、定盤1を形成した。【効果】 ペレットの回りを合成樹脂で固めたから、ペレットが脱落しにくい。また、ペレット間の隙間を合成樹脂で埋めて研磨液が流出する溝を塞いだから、研磨液の保持性が良い。
請求項（抜粋）：
定盤本体の表面に複数の研磨用ペレットを所望の配列パターン及び間隔で同一高さに取り付けると共に、各ペレット間の隙間に合成樹脂を充填してなることを特徴とする平面研磨装置用定盤。
IPC (3件)：
B24D 7/06
, B24B 37/04
, B24D 3/00 340
