薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-092501
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288356
出願日： 1995年04月18日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】各装置の設置に手間のかからない薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置を提供すること【構成】ハンド5がハンド本体5aとハンド本体5aの先端部に配設された光電管センサー6から構成され、障害物10と光電管センサー6との距離が一定距離以内になった時にハンド5の作動を停止する。

請求項（抜粋）：

カセットに収納された薄型基板を搬送するハンドであって、前記ハンドがハンド本体と、前記ハンド本体の先端部に配設されるハンド位置検出手段とから構成されることを特徴とする薄型基板搬送装置におけるハンド保護装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B25J 19/06 , B65H 9/08

FI (4件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 F , B25J 19/06 , B65H 9/08

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