特許

J-GLOBAL ID：200903076390590700

ポジ型感光性組成物

発明者： 佐藤 健一郎 ,  青合 利明
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-061449
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258782
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用に好適で、具体的には250nm以下、特に220nm以下の露光光源の使用時に、著しく向上した良好な感度、優れた現像性、即ち現像欠陥の発生がなく、更にパターンと基板との密着性が良好なレジストパターンを形成する優れたポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、特定の1価の多環型の脂環式基のうち少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂、及び特定の親水性基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、(B)下記一般式(I)、(II)又は(III)で表される1価の多環型の脂環式基のうち少なくとも1つと、酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基とを有する樹脂、及び(C)(i)親水性官能基および炭素数5〜30個の有橋式炭化水素基を有する低分子化合物又は(ii)親水性官能基および炭素数10〜30個のナフタレン化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)〜(III)中、R1 〜R5 は同じでも異なっていてもよく、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アシロキシ基、アルキニル基、ハロゲン原子、シアノ基もしくは、-R6 -O-R7 基、-R8 -CO-O-R9 基、-R10-CO-NR11R12基、-R13-O-CO-R14基、-R15-CO-X1 -A1 -R16、-R15-CO-X1 -A2 -R17、-R15-CO-NHSO2 -X2 -A-R17又は、-COOZを表す。R7 、R9 は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、もしくは-Z、又は-O-R7 もしくは-CO-O-R9 で酸の作用により分解してアルカリ現像液中での溶解性を増大させる基(酸分解性基)を構成する基を表す。Zは下記に示す基である。【化2】R19〜R26は、同じでも異なってもよく、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a、bは、各々1又は2を表す。R11〜R12、R14は同じでも異なっていてもよく、水素原子、置換基を有していても良い、アルキル基、シクロアルキル基又はアルケニル基を表し、R11とR12が結合して環を形成しても良い。R6 、R8 、R10、R13は同じでも異なっていてもよく、単結合もしくは、置換基を有していても良い、アルキレン基、アルケニレン基、又はシクロアルキレン基を表す。R15は、単結合、置換基を有していても良い、アルキレン基又はシクロアルキレン基を表す。X1 は、酸素原子、硫黄原子、又は-NH-を表す。X2 は、単結合又は-NH-を表す。Aは、単結合、置換基を有していても良いアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、又はウレア基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。A1 は、置換基を有していても良いアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表す。A2 は、置換基を有していても良いアルキレン基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、スルフォンアミド基、ウレタン基、又はウレア基よりなる群から選択される単独あるいは2つ以上の基の組み合わせを表し、但し、少なくとも1つは、スルフォンアミド基、ウレタン基、又はウレア基から選択される。R16は、-COOH、-OR7 、-COOR9 、-COOZ、-CN、水酸基、又は-CO-NH-SO2-R30を表す。R17は、-COOH、-CN、水酸基、-CO-NH-R30、-CO-NH-SO2-R30、-OR7 、-COOR9 、-Z、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基又はアルコキシ基を表す。R30:置換基を有していてもよい、アルキル基又はシクロアルキル基、R35:置換基を有していてもよいアルキル基あるいはシクロアルキル基、又は-Z。l、m、n、p、qは同じでも異なっていてもよく、0又は1〜5の整数を示す。ここで、l、m、n、p又はqが2以上の場合、各複数個のR1 〜R5 は同一でも相異していても良く、その2個のR1 〜R5 が、同一炭素原子上に置換する場合、その2個でカルボニル基(=O)又はチオカルボニル基(=S)を表しても良く、更に2個のR1 〜R5 が、隣接する炭素原子上に置換する場合はその2個で互いに結合し、それら炭素原子間の二重結合を表しても良い。また、R1 〜R5 が各々2個以上置換している場合、その2個のR1 〜R5 が互いに結合して環を形成してもよい。一般式(I)、(II)又は(III)で表される1価の多環型の脂環式基の結合手の位置は、それら炭化水素多環構造中のいずれの位置でも良い。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00

FI (6件)：

G03F 7/004 501 ,  C08L101/02 ,  G03F 7/039 601 ,  C08L 33/04 ,  C08L 35/00 ,  H01L 21/30 502 R