特許

J-GLOBAL ID：200903076396805792

窒化アルミニウム基焼結体とその製造方法及びそれを用いたサセプター

発明者： 北川 高郎 ,  大塚 剛史 ,  稲妻地 浩 ,  吉岡 良樹 ,  石塚 雅之
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-132004
公開番号（公開出願番号）：特開2000-327424
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：

【要約】【課題】 長期使用時の耐プラズマ性に優れ、放射吸収率及び熱伝導率が大きく、しかも、載置した被処理物上の薄膜の特性を劣化させる虞がない窒化アルミニウム基焼結体とその製造方法及びそれを用いたサセプターを提供する。【解決手段】 炭化珪素を0.1〜20重量%含有し、残部を窒化アルミニウム及び不可避不純物とした組成からなり、平均結晶粒径が20μm以下であり、かつ、CIE 1976明度L*が30以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

炭化珪素を0.1〜20重量%含有し、残部を窒化アルミニウム及び不可避不純物とした組成からなり、平均結晶粒径が20μm以下であり、かつ、CIE 1976明度L*が30以下であることを特徴とする窒化アルミニウム基焼結体。

IPC (4件)：

C04B 35/581 ,  C04B 35/626 ,  C04B 35/645 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

C04B 35/58 104 K ,  H01L 21/205 ,  C04B 35/58 104 U ,  C04B 35/58 104 R ,  C04B 35/58 104 Y ,  C04B 35/64 302 Z

Fターム (19件)：

4G001BA06 ,  4G001BA07 ,  4G001BA09 ,  4G001BA22 ,  4G001BA36 ,  4G001BB06 ,  4G001BB07 ,  4G001BB09 ,  4G001BB22 ,  4G001BB36 ,  4G001BC01 ,  4G001BC42 ,  4G001BD03 ,  4G001BD38 ,  5F045AA08 ,  5F045BB14 ,  5F045BB15 ,  5F045EM01 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-142871   出願人：株式会社東芝
• 特開平4-292463
  
• 窒化アルミニウム基焼結体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-143464   出願人：住友大阪セメント株式会社
• 特開昭61-256658
  
• 特開平3-137057
  
• ウエハ支持部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-073278   出願人：京セラ株式会社