特許

J-GLOBAL ID：200903076397293809

走査電子顕微鏡と二次電子検出系

発明者： 小瀬 洋一 ,  吉成 清美 ,  佐藤 貢
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-219851
公開番号（公開出願番号）：特開平7-073841
出願日： 1993年09月03日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 引上電極を備える走査電子顕微鏡で、常に高い二次電子収率を維持する。【構成】 一次電子線4を偏向コイル,対物レンズ6を通して試料7上に集束して照射する。試料7から放出される二次電子9は、対物レンズ6の磁束に巻きつき、かつ、下引上電極11aによる電界により螺旋運動をしながら上昇する。下引上電極11aから間隔を設けて上引上電極11bを設置し、両電極11a,11b間に静電レンズを形成させているので、二次電子9はこの静電レンズで集束され、対物レンズ6の中心開口外壁に衝突して失われることなく、常に高い二次電子収率で二次電子検出器10に捕捉される。

請求項（抜粋）：

一次電子照射系からの一次電子線を対物レンズ磁場内に装着した試料に照射し、試料上から発生した二次電子を光軸に沿って引上げる電界を形成する引上電極を有する走査電子顕微鏡において、引上電極内部の前記対物レンズ磁場及び引上電界が減衰して二次電子が発散しようとする位置に二次電子を収束する静電レンズを設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。