特許
J-GLOBAL ID：200903076400957721
画像入力装置における移動ステージの校正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木 秀人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-241024
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099566
出願日： 1993年09月28日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 自動的な校正操作が行え、かつ、高精度の校正が行える方法の提供。【構成】 移動ステージ上に校正板が載せられ、s1で初期設定が行われ、s2で最初の測定点にステージが移動させられる。s3でCCDカメラからターゲットの画像情報が取り込まれ、A/D変換器でデジタル信号に変換される。デジタル化信号はs4で平滑化され、s5で信号がデータとして格納される。s6では、信号の2値化が行われ、s7で、2値化信号からターゲットの概略輪郭が求められる。s8では、ターゲットの精密輪郭が演算される。S9では、精密輪郭から円の中心座標が求められる。s10 では、測定座標値と基準座標値との偏差が演算される。s11 では、測定が完了したかどうかが判断され、未完の場合には、s2に戻り、完了の場合には、s13 ,14 に移行し、s10 のデータに基づいてアフィン, バイナリィ変換が行われ誤差の演算が行われ、s15 で結果を出力して手順が終了する。
請求項（抜粋）：
二次元方向に配列された画素を有し、行毎に画像信号が順次出力されるCCDカメラを有する画像入力装置における移動ステージの校正方法において、格子状に配列された複数の円状ターゲットを有し、各円状ターゲットの中心が基準座標値として予め求められている校正板を前記移動ステージ上に載置する第1工程と、前記CCDカメラで前記校正板の各円状ターゲットを順次測定する第2工程と、前記第2工程の各測定によって得られたCCDカメラの画像信号を変換したデジタル信号から演算処理により、各円状ターゲットの中心を測定座標値として求める第3工程と、前記基準座標値と前記測定座標値の偏差から前記移動ステージの誤差を検出する第4工程とを有することを特徴とする画像入力装置における移動ステージの校正方法。
IPC (2件)：
H04N 1/04 106
, H04N 1/00
